GNW-News: Das neue FIB-SEM ZEISS Crossbeam 750 für hochpräzise Workflows zur Probenpräparation
^Beispielloses Feedback für präzises Endpointing dank Live-REM-Bildgebung während
des Materialabtrags
* Die neue ZEISS Gemini 4 mit Elektronenoptik überzeugt durch eine
hervorragende Auflösung und ein verbessertes Signal-Rausch-Verhältnis.
* Die Live-REM-Bildgebung wurde so erweitert, dass schneller FIB-
Materialabtrag bis hin zum Polieren ultrafeiner Lamellen kontrolliert werden
kann.
* Das große verzeichnungsfreie Sichtfeld ermöglicht beste Ergebnisse in der
3D-Tomografie und in APT-Workflows.
ZEISS hat heute mit dem ZEISS Crossbeam 750 sein neues Rasterelektronenmikroskop
mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB-SEM) vorgestellt, das speziell auf die
anspruchsvolle Probenpräparation ausgelegt ist. Dieses Mikroskop bietet unter
allen Bildgebungs- und Abtragungsbedingungen eine hochauflösende Live-Ansicht
des Materialabtrags und liefert sofort Feedback. Dadurch werden Unterbrechungen
während des Materialabtrags vermieden und bereits im ersten Durchlauf
einheitliche TEM-Lamellen und präzise FIB-Querschnitte erzeugt.
Für fortschrittliche Halbleiter- und Material-Workflows bietet das FIB-SEM ZEISS
Crossbeam 750 mit der neuen Gemini 4 Elektronenoptik hintergrundfreies
Endpointing in Echtzeit und Präzision auf Sub-Nanometer-Ebene für TEM-Lamellen
und hochpräzise 3D-Analysen. Es ist ideal für die Analyse von Leading-Node-
Logic- und Speichereinheiten, sowie für die Nanofabrikation und die 3D-
Volumenbildgebung. Im Bereich der Material- und Biowissenschaften beschleunigt
ZEISS Crossbeam 750 dank seines großen Sichtfelds mit geringer Verzeichnung die
Erfassungszeit für 3D-Tomografie.
?Bei der Entwicklung des ZEISS Crossbeam 750 hatten wir ein Grundprinzip im
Blick: Unsere Kunden sollen den Materialabtrag nicht unterbrechen müssen, um
sehen zu können, in welchem Probenbereich sie gerade arbeiten", sagt Dr. Thomas
Rodgers, Senior Director of Market Strategy und Head of Business Sector
Electronics bei ZEISS Microscopy. ?Unsere neue HDR Mill + SEM-Funktion sorgt für
eine klare, hochauflösende SEM-Ansicht bei allen FIB-Bedingungen - vom schnellen
Materialabtrag mit hohen FIB-Strömen bis zum Feinpolieren bei 0,5 kV. Diese
klare Darstellung in Echtzeit zusammen mit der Gemini 4 Elektronenoptik
ermöglicht Kunden die Feinabstimmung ihrer Prozesse noch während der Arbeit.
Dadurch sind weniger Nacharbeiten nötig, das Ergebnis wird verbessert und sie
erhalten bereits im ersten Durchlauf einheitliche Lamellen."
Wandel in der modernen Halbleiteranalyse dank ?see while you mill"
Halbleiterelemente werden immer kleiner und gleichzeitig immer komplexer. Das
gilt sowohl für Finnen-Feldeffektransistoren (finFET) als auch für Gate-all-
around-Transistoren (GAA), komplementäre Feldeffekttransistoren (CFET) und neue
2D-Materialien. Deshalb ist eine präzise Kontrolle in Echtzeit während der FIB-
Prozesse unverzichtbar geworden. ZEISS Crossbeam 750 geht diese Herausforderung
direkt an, indem es während des Materialabtrags selbst bei niedriger
Auftreffenergie und bei Neigung eine klare, hochaufgelöste SEM-Sicht
gewährleistet.
Nutzer:innen können die FIB-Probeninteraktionen in Echtzeit beobachten, die
Ausdünnungs- und Polierschritte direkt während der Ausführung verfeinern und die
Endpunkte im Nanometerbereich im ersten Versuch treffen. Dies sorgt für
gleichbleibende Lamellenqualität bei Workflows mit Leading-Node-Logic- und
Speichereinheiten in führenden Technologieknoten und Backside-Power-Delivery-
Netzwerken.
Herausragende Bildgebung für wissenschaftlichen Fortschritt
Das FIB-SEM ZEISS Crossbeam 750 ist für die einheitliche TEM-
Lamellenpräparation, in Workflows in der Materialwissenschaft, für die
Probenpräparation in der Atomsondentomografie (APT), für die Nanofabrikation
(einschließlich Elektronenstrahllithografie) sowie für die hochauflösende 3D-
Volumen-Bildgebung unverzichtbar. In den Bio- und Materialwissenschaften
verbessert das unverzerrte, große Sichtfeld und die stabile Leistung bei
geringem kV-Wert des Crossbeam 750 das Signal-Rausch-Verhältnis und beschleunigt
die Aufnahmedauer.
Das FIB-SEM ZEISS Crossbeam 750 kann ab sofort bestellt werden. Weitere
Informationen finden Sie hier (https://zeiss.ly/crossbeam-750).
Kontakt für die Presse
ZEISS Research Microscopy Solutions
Kristin Unger
E-Mail: press.microscopy@zeiss.com (mailto:press.microscopy@zeiss.com)
www.zeiss.de/newsroom (https://www.zeiss.de/newsroom)
Über ZEISS
ZEISS ist ein weltweit führendes Technologieunternehmen der optischen und
optoelektronischen Industrie. In den vier Sparten Semiconductor Manufacturing
Technology, Industrial Quality & Research, Medical Technology und Consumer
Markets erwirtschaftete die ZEISS Gruppe zuletzt einen Jahresumsatz von knapp
12 Milliarden Euro (30. September 2025).
ZEISS entwickelt, produziert und vertreibt für seine Kunden hochinnovative
Lösungen für die industrielle Messtechnik und Qualitätssicherung,
Mikroskopielösungen für Lebenswissenschaften und Materialforschung sowie
Medizintechniklösungen für Diagnostik und Therapie in der Augenheilkunde und der
Mikrochirurgie. ZEISS steht auch für die weltweit führende Lithographieoptik,
die zur Herstellung von Halbleiterbauelementen von der Chipindustrie verwendet
wird. ZEISS Markenprodukte wie Brillengläser, Fotoobjektive und Ferngläser sind
weltweit begehrt und Trendsetter.
Mit diesem auf Wachstumsfelder der Zukunft wie Digitalisierung, Gesundheit und
Industrie 4.0 ausgerichteten Portfolio und einer starken Marke gestaltet ZEISS
den technologischen Fortschritt mit und bringt mit seinen Lösungen die Welt der
Optik und angrenzende Bereiche weiter voran. Grundlage für den Erfolg und den
weiteren kontinuierlichen Ausbau der Technologie- und Marktführerschaft von
ZEISS sind die nachhaltig hohen Aufwendungen für Forschung und Entwicklung.
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diese hohen Aufwendungen haben bei ZEISS eine lange Tradition und sind
gleichermaßen eine Investition in die Zukunft.
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sowie 30 Produktionsstandorten weltweit aktiv (30. September 2025).
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Deutschland. Alleinige Eigentümerin der Dachgesellschaft, der Carl Zeiss AG, ist
die Carl-Zeiss-Stiftung, eine der größten deutschen Stiftungen zur Förderung der
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Weitere Informationen unter www.zeiss.de (https://www.zeiss.de)
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ZEISS Research Microscopy Solutions ist der führende Anbieter von Licht-,
Elektronen- und Röntgenmikroskopsystemen, korrelativer Mikroskopie sowie
Softwarelösungen, die KI-Technologien nutzen. Das Portfolio umfasst Produkte und
Services sowohl für Biowissenschaften, Material- und industrielle Forschung als
auch für Ausbildung und klinische Praxis. Hauptsitz des Bereichs ist Jena.
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Solutions ist Teil der Sparte Industrial Quality & Research.
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